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重金属汚染

heavy metal contamination

 シリコンウェーハ表面の不純物汚染のうち,Cu,Niなどの重金属の付着に起因するもの.各種のウェーハプロセスが発生原因となり,製品歩留りや信頼性の低下をもたらす.表面析出物を形成し,エッチングによりピットとして観察される.