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重金属汚染
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====== 重金属汚染 ====== ==== heavy metal contamination ==== {{tag>..c18}} シリコンウェーハ表面の不純物汚染のうち,Cu,Niなどの重金属の付着に起因するもの.各種のウェーハプロセスが発生原因となり,製品歩留りや信頼性の低下をもたらす.表面析出物を形成し,エッチングによりピットとして観察される. ~~NOCACHE~~
18/1005483.txt
· 最終更新: 2017/07/19 08:50 by
127.0.0.1
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