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真空チャック

vacuum chuck

 加工精度に影響する工作物のクランプひずみを低減するために,工作物を真空吸着して固定するクランプ方法の一つ.例えば,磁気ディスクのような薄い円板の正面旋削を行うときには,主軸面板に同心円状の溝を入れ,主軸を通して溝の内部を真空に引き,大気圧によって工作物を面板に押付けて固定する.クランプ力はそう大きくないため,主として,切削力の小さい超精密切削加工において用いられる.