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スパッタ率

sputtering yield

 イオンを物質に照射したとき,1個のイオンによっていくつの原子,分子が材料からたたき出されるかを示す値.物質の種類,イオンのエネルギー,種類,イオン入射角などに依存する.イオンのエネルギーには最適値が存在する.