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スパッタ率
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====== スパッタ率 ====== ==== sputtering yield ==== {{tag>..c18}} イオンを物質に照射したとき,1個のイオンによっていくつの原子,分子が材料からたたき出されるかを示す値.物質の種類,イオンのエネルギー,種類,イオン入射角などに依存する.イオンのエネルギーには最適値が存在する. ~~NOCACHE~~
18/1006511.txt
· 最終更新: 2017/07/19 08:50 by
127.0.0.1
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