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スライシングマシン

slicing machine

 インゴットあるいはブロック状の試料から薄片を切出すための切断装置.固定砥粒方式と遊離砥粒方式がある.前者には内周刃方式と外周刃方式がある.内周刃スライサはドーナツ状の高抗張力鋼台金の内周エッジ部にダイヤモンド砥粒を電着させた刃を用いるもので,シリコンウェーハはほとんどこの方式でスライスされている.外周刃スライサは円板台金の外周に砥粒を電着させたもので,薄物の切断に適する.遊離砥粒方式には細径ワイヤを使うワイヤソーと帯状のブレードを使うバンドソー(ブレードソー)があり,研磨剤を供給しながら切断を行う.