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静圧案内

hydrostatic guide

 絞りを通して加圧された流体(空気または油)を案内面に導入し,この流体を潤滑膜として非接触で作動する滑り案内の一種.ほとんど摩擦がないのでスティックスリップを起こさず,スライダの高速移動が可能である.ピッチングやヨーイングを起こしにくいので直進精度が高く,高剛性で高負荷に耐える.空気式は,摩擦が小さく熱影響が少ない,流体が手近にある,漏れの問題がない,精度劣化がない,などの特長があり,高精度を必要とする半導体製造装置,工作機械,測定装置などに広く利用されている.油式は空気式よりも剛性が高い.