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切削または研削によってサブミクロンオーダの精度で加工を行う工作機械の総称．超精密旋盤と超精密研削盤の機能を合せ持つものもある．基本要素は正確な回転をする主軸，正しくかつなめらかな直線運動をするテーブルおよび鋭い切味を持つ工具である．主軸受や案内には空気または油静圧軸受が多く用いられるが，案内に滑りや転がりを用いた例もある．磁気ディスク基板，感光ドラム，光学部品，金型，磁気ヘッドの溝入れなどの加工に使われる．
