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超精密加工機

ultraprecision machine tool

 切削または研削によってサブミクロンオーダの精度で加工を行う工作機械の総称.超精密旋盤と超精密研削盤の機能を合せ持つものもある.基本要素は正確な回転をする主軸,正しくかつなめらかな直線運動をするテーブルおよび鋭い切味を持つ工具である.主軸受や案内には空気または油静圧軸受が多く用いられるが,案内に滑りや転がりを用いた例もある.磁気ディスク基板,感光ドラム,光学部品,金型,磁気ヘッドの溝入れなどの加工に使われる.