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電子プローブマイクロアナリシス

electron probe micro-analysis

 試料表面に電子ビームを照射し,表面から放出する特性X線のエネルギーから表面の元素組成を調べる方法.その装置を電子プローブマイクロアナライザ(EPMA)という.特性X線は,元素に固有のエネルギーを持って発生する.走査型電子顕微鏡の実態像と関連づけ,数μm程度の領域の局所元素分布の把握ができる.