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試料表面に電子ビームを照射し，表面から放出する特性X線のエネルギーから表面の元素組成を調べる方法．その装置を電子プローブマイクロアナライザ（EPMA）という．特性X線は，元素に固有のエネルギーを持って発生する．走査型電子顕微鏡の実態像と関連づけ，数μm程度の領域の局所元素分布の把握ができる．
