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電子プローブマイクロアナリシス
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====== 電子プローブマイクロアナリシス ====== ==== electron probe micro-analysis ==== {{tag>..c18}} 試料表面に電子ビームを照射し,表面から放出する特性X線のエネルギーから表面の元素組成を調べる方法.その装置を電子プローブマイクロアナライザ([[18:1000432|EPMA]])という.特性X線は,元素に固有のエネルギーを持って発生する.走査型電子顕微鏡の実態像と関連づけ,数μm程度の領域の局所元素分布の把握ができる. ~~NOCACHE~~
18/1008875.txt
· 最終更新: 2017/07/19 08:50 by
127.0.0.1
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