内容へ移動
ユーザ用ツール
管理
ユーザー登録
ログイン
サイト用ツール
検索
ツール
文書の表示
以前のリビジョン
バックリンク
最近の変更
メディアマネージャー
サイトマップ
ユーザー登録
ログイン
>
最近の変更
メディアマネージャー
サイトマップ
現在位置:
機械工学事典
»
生産加工・工作機械
»
反応性イオンビーム加工
この文書は読取専用です。文書のソースを閲覧することは可能ですが、変更はできません。もし変更したい場合は管理者に連絡してください。
====== 反応性イオンビーム加工 ====== ==== reactive ion beam processing ==== {{tag>..c18}} イオン種として反応性ガス(Cl<sub>2</sub>,CF<sub>4</sub>など)を用いたイオンビーム加工.スパッタリングによる除去に加えて,イオンとの化学反応が加わり,除去作用が促進される. ~~NOCACHE~~
18/1010481.txt
· 最終更新: 2023/02/17 11:34 by
127.0.0.1
ページ用ツール
文書の表示
以前のリビジョン
バックリンク
文書の先頭へ