材料表面にフォトレジスト塗布，フォトマスクを通しての紫外線露光，現像などの一連の写真技術によってレジストパターンを形成する．フォトレジストでマスクされていない部分を溶解させて材料を所定のパターン・形状に加工する技術をフォトエッチングという．また，フォトレジストでマスクされていない部分にめっきによって金属を析出させ，これを基板からはく離して析出した金属自身を部品・製品とする技術をフォトフォーミングという．フォトエッチングとフォトフォーミングを総称してフォトファブリケーションという．