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メカニカル・ケミカル加工

mechanical and chemical machining

 機械的作用と化学的作用が共存する材料除去加工の総称.例えば,砥粒による引きかきと研磨液によるエッチングの双方を利用するメカニカル・ケミカルポリシング,シリコンウェーハの最終仕上用の機械的作用と化学的作用による軟質皮膜形成とその除去が行われるメカノケミカルポリシングなどがある.また,ドライエッチングに類する反応性スパッタエッチングもこれに該当し,工作物と揮発性物質を生成するイオン種を用い,イオンの衝突の際の機械的作用と化学的作用によって微細パターン加工に用いられる.