====== 薄膜ヘッド ====== ==== thin film head ==== {{tag>..c15}}  セラミック基板上に金属磁性膜で環状磁気回路を形成したヘッド.コイルを含めフォトリソグラフィで形状加工を行うため,磁気回路を小さくでき,高性能化が可能.セラミック基板上でバッチ形成する. ~~NOCACHE~~