スパッタ媒体
sputtering medium
情報・知能・精密機械
記録層をスパッタリング法で作製する磁気ディスク.記録層にはCoPtCr,CoTaCr,CoCrなどのコバルト系材料が用いられる.保護膜にはスパッタリング法により非晶質カーボン膜が被覆される.