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ソフトリソグラフィー

Soft lithography

微細なパターンを有する鋳型に、シリコーン樹脂(例えば、ポリジメチルシロキサン、PDMS)等を流し込み、熱や光などを用いて架橋後、離型することで微細パターンを転写した造形物を作製する技術。

ソフトリソグラフィー.txt · 最終更新: 2023/03/13 16:56 by mnm05