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化学増幅型フォトレジスト

Chemically amplified photoresist

触媒反応を利用することで高感度化したフォトレジスト.光酸発生材により感光部に酸を発生させ,次工程のPEBにて酸を拡散させることで,触媒作用によって連鎖的に反応を進行させる.

化学増幅型フォトレジスト.txt · 最終更新: 2023/02/17 18:09 by mnm04