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低温型のα-Si3N4と高温型のβ-Si3N4が存在する.密度3.15~3.2g/cm3.一気圧では,1840~1880℃で分解し,真空中ではより低温から分解蒸発する.焼結体の熱伝導率は0.03cal/cm・s・℃程度と低いが,大気中1300℃でも500MPa程度の強度を有することと熱膨張係数が3.5×10-6/℃とセラミックスとしては小さいことから耐熱衝撃性が高い.