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分子あるいは原子が3個の集合体（クラスタ）で，ダイマより生成される．生成過程はダイマが回転・振動の内部自由度を持つため，粒子衝突の並進運動エネルギーをこれらのエネルギーに吸収することができ，A2+A→A3なるダイマ（A2），モノマ（A）よりのトリマ（A3）の生成が可能である．トリマ以上のクラスタは主としてこの生成過程をとる．
