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position sensitive detector

 Si半導体の表面抵抗を利用して,入射した光パターンの図心位置を出力する一種の位置検出素子.半導体表面に光パターンが入射すると,その内部で電荷が発生し,その位置と強度分布に応じて表面抵抗層を伝わり周囲へと流れる.これを,半導体周辺に設けた複数の電極で電流として取出し,それらを演算して,パターンの図心位置を出力する.一次元,二次元のものが製品化されている.

14/1010531.txt · 最終更新: 2017/07/19 08:49 by 127.0.0.1