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LIGAプロセス
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====== LIGAプロセス ====== ==== LIGA process ==== {{tag>..c15}} LIGAはドイツ語のLIthographie, Gavanoformung und Abformung (lithography, gavanotorming and molding)に由来する.X線リソグラフィーの場合より短波長のX線を用いてPMMA(ポリメチルメタアクリレート樹脂)のレジストなどを数100μm程度の深部まで露光し,それに電気めっき,プラスチックモールディングを施すことによってミクロンオーダの微小部品〔ウラン濃縮用分離ノズル(図),歯車,加速度センサ,マイクロ分光器など〕を大量生産する技術をいう. {{popup> :1001252_01.jpg?400 }} ~~NOCACHE~~
15/1001252.txt
· 最終更新: 2017/07/19 08:49 by
127.0.0.1
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