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測定対象物（主に鏡面反射物）の微小角度変位を計測する光学計測機である．レンズにより平行光とした測定光を対象物に照射し，その反射光の反射角度を受光素子上での変位に変換して角度を計測する．受光素子としてCCDあるいは4分割フォトダイオードを用いることで，一度に2自由度の角度変位を測定できる．現在では，レーザ光源を用いた市販品において，0.005秒程度の高い分解能が実現されており，二つ以上の平面の平行度，二つ以上の平面の直角度，平面の微小角度変位，平面の平面度などの計測に利用されるとともに，精密ステージの角度運動誤差の評価等にも用いられている．
