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走査型プローブ顕微鏡の一種．極めて柔なカンチレバーの端に鋭い探針を形成し，この探針を試料表面に接触させながら面内方向に走査し，高感度な変位センサによってカンチレバーの変位を検出することで，探針に作用するファンデルワールス力（～10-11N）などの極微弱な相互作用力の分布やトポグラフィーを画像化する顕微鏡．
