目次
計算力学 バイオエンジニアリング 環境工学 産業・化学機械と安全 宇宙工学 技術と社会 材料力学 機械材料・材料加工 流体工学・流体機械 熱工学 エンジンシステム 動力エネルギーシステム 機械力学・計測制御 ロボティクス・メカトロニクス 情報・知能・精密機械 機素潤滑設計 設計工学・システム 生産加工・工作機械 FA（ファクトリーオートメーション） 交通・物流 マイクロ・ナノ 編集委員・執筆者
走査型トンネル顕微鏡（STM）の基本要素技術である探針と試料とのすきま制御技術，探針の走査技術，画像処理技術，防振・断熱など外乱シールド技術を基に，光，磁気，熱，静電容量，電位などの各種物理量を測定できる走査型顕微鏡ファミリーの総称．STMに用いられる導電性の探針に替えて上記の物理量を，種々の気体中，液中などでも高分解能で検出できるマイクロセンサチップ，検出回路などを備えている．測定される物理量にもよるが，一般に100nm程度から数Åの空間分解能を有する．
