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真空蒸着

vacuum evaporation

 真空中で材料を蒸発させながら,それを基板にたい積する技術.蒸着原子の持つエネルギーは小さいから,基板への付着力は低く,蒸着前の基板の清浄化が重要である.

18/1006047.txt · 最終更新: 2017/07/19 08:50 by 127.0.0.1