超音波振動する工具が研磨剤を介して衝撃力をワークに加え，生じる微細な脆性破壊作用に基づく砥粒加工法である．その際若干のキャビテーション作用も重畳されるといわれている．用いられる砥粒径は5～150μm程度であり，その溶液には水が用いられるが，特殊な用途の場合ケロシンなどが使用さられることもある．砥材としては，ボロンカーバイト，カーボランダム，アランダム，アルミナ，ダイヤモンドなどである．この加工機構上，ガラス，ルビー，水晶のような硬脆材料の穴あけ，切断，彫刻などが主体であり，加工面積も小さい．工具振動は，振動子と高周波発振器で発生した振動をホーンで数十μm程度まで増幅して取り出される．砥石の回転に超音波振動を重畳させた超音波研削もこの発展であり，難削材の研削に有効である．