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微細加工

micromachining

 微細寸法(通常0.5mm以下)の要素からなる形状の加工をさす.加工単位(1回の加工現象により除去あるいは付加される材料の量)がサブミクロンの領域となるため,加工現象が特異的になるほか,材料,装置,測定法などに通常とは異なった技術が要求される.大別して,工具を用いた三次元的形状加工と,マスクを用いた二次元的形状加工があり,放電加工,研削,フォトリソグラフィーをはじめ非常に多くの加工法が用いられる.マイクロマシンやマイクロエレクトロメカニカルシステム(MEMS)を構成するための重要な技術分野である.

18/1010663.txt · 最終更新: 2017/07/19 08:50 by 127.0.0.1