目次
計算力学 バイオエンジニアリング 環境工学 産業・化学機械と安全 宇宙工学 技術と社会 材料力学 機械材料・材料加工 流体工学・流体機械 熱工学 エンジンシステム 動力エネルギーシステム 機械力学・計測制御 ロボティクス・メカトロニクス 情報・知能・精密機械 機素潤滑設計 設計工学・システム 生産加工・工作機械 FA(ファクトリーオートメーション) 交通・物流 マイクロ・ナノ 編集委員・執筆者
フォトファブリケーション用のマスク材料.これを材料表面に塗布した後,紫外線を照射することによって水や有機溶剤などの現像液に対する溶解性を変化させ,エッチングやフォトフォーミングの材料基板に耐食性のあるマスクパターンを形成する.