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μTAS（micro total analysis system）. MEMS 技術を用いてチップ上に微小流路や混合・反応装置を設け，1つのデバイス上で試料分析・加工の全工程を実現する装置． 微小化する程，試料の必要量，反応時間，発熱量を小さくできるため，コスト，効率，安全性を高くできる．
参考：
