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--- rca洗浄 [2021/09/14 00:09] – 作成 mnm03
+++ rca洗浄 [2022/12/15 11:15] (現在) – [RCA cleaning] mnm03
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 ===== RCA洗浄 =====
-==== RCA cleaning ====
-{{tag>..c21}}
-シリコンウェハの標準的な洗浄方法で、高温プロセス（酸化、拡散、化学気相成長）の前に行われる。RCA社が開発した洗浄プロセスである。
-~~NOCACHE~~

rca洗浄.txt · 最終更新: 2022/12/15 11:15 by mnm03