ユーザ用ツール

サイト用ツール


差分

この文書の現在のバージョンと選択したバージョンの差分を表示します。

この比較画面にリンクする

rca洗浄 [2021/09/14 00:09] (現在)
mnm03 作成
ライン 1: ライン 1:
 +===== RCA洗浄 =====
 +==== RCA cleaning ====
 +
 +{{tag>..c21}}
 +
 +シリコンウェハの標準的な洗浄方法で、高温プロセス(酸化、拡散、化学気相成長)の前に行われる。RCA社が開発した洗浄プロセスである。
 +
 +~~NOCACHE~~