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+===== RCA洗浄 =====
+==== RCA cleaning ====
+{{tag>..c21}}
+シリコンウェハの標準的な洗浄方法で、高温プロセス（酸化、拡散、化学気相成長）の前に行われる。RCA社が開発した洗浄プロセスである。
+~~NOCACHE~~

rca洗浄.txt · 最終更新: 2022/12/15 11:15 by mnm03