[趣旨]

[講 演概要]

　ミクロの決死圏というSF映画が公開されてから、すでに40年近くの歳月が流れました。乗組員ごと潜水艇を小型化して、ヒトの血管に送り込み、人 体内部をめぐって患部を治療するというものです。筆者はこの映画を幼いころに見て大いに感銘をしたものです。以来、ずっと小さいものを作りたくて、マイク ロエレクトロニクス、マイクロ機械の分野の仕事に携わってきました。最近では、ドラえもんがスモールライトと称して、何でも小さくすることができ、若い人 々も感銘を受けていることと思います。さて、現実の世界では40年を経たいまでも潜水艇を瞬時に小さくし、体内を自由に移動することは実現していません。 しかしながら、その間にエレクトロニクスは進歩し、ヒトの血管よりははるかに小さなトランジスタをシリコン上に形成することができるようになりました。こ の技術を応用してマイクロ機構を形成する技術をMEMSと呼びます。あるいは、シリコンプロセスによらないマイクロ機構もさまざまな方法で作られてきてい ます。車の衝突検知センサー、プロジェクタ用ミラーアレー、インクジェットプリンターヘッド、原子間力顕微鏡に用いられている感知レバーなどにはこの技術 が応用され実際に広く使われています。また、車にジャイロを搭載してスピン防止、横転防止をおこなうシステムには、圧電MEMSジャイロがキーパーツとし て検討されています。さまざまな化学反応を一枚のチップ上で試験するμTAS、バイオチップ、超小型のタービンまで、この技術で検討されています。いまで も、夢として扱われている体内を自由に巡る小型潜水艇は姿を変えて、微細機械システムとして実現するかもしれません。

本講演では、１　マイクロマシンの歴史的な事柄から話を始 め、２　現在取り組まれている事例、３　いくつかのデバイスに使われている技術を解析し、４　そこに共通して流れる技術を解説します。あわせて、５　将来 向かうシステム化の方向について占ってみたいと思います。

講師： 内木場 　文男　[日本大学 理工学部 機械精密工学科 助教授]