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真空蒸着装置-プラスチック

vacuum vapor depositing equipment-plastics

 高真空中(1×10-2Pa以下)で蒸着材料(アルミニウムなどの金属や有機化合物など)を加熱蒸発させ,成形品表面上に物理的にたい積させ,蒸着材料の薄膜を形成する装置.装置は抵抗加熱,高周波誘導加熱,電子ビーム加熱で蒸着材料を蒸発させる蒸発源,真空に保つ真空排気系からなる.成形品には自公転する保持装置,フィルムには巻取装置が真空チャンバ内に取付けられている.