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走査型プローブ顕微鏡

scanning probe microscope (SPM)

 走査型トンネル顕微鏡(STM)の基本要素技術である探針と試料とのすきま制御技術,探針の走査技術,画像処理技術,防振・断熱など外乱シールド技術を基に,光,磁気,熱,静電容量,電位などの各種物理量を測定できる走査型顕微鏡ファミリーの総称.STMに用いられる導電性の探針に替えて上記の物理量を,種々の気体中,液中などでも高分解能で検出できるマイクロセンサチップ,検出回路などを備えている.測定される物理量にもよるが,一般に100nm程度から数Åの空間分解能を有する.