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オージェ電子分光法

auger electron spectroscopy

 試料表面に電子ビーム,イオンビームまたはX線を照射して,表面から放出するオージェ電子と呼ばれる電子のエネルギースペクトルを分析することで,表面の元素組成や化学状態を調べる方法.オージェ電子がおのおのの元素に固有のエネルギーを持っていることを利用.