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試料表面に電子ビーム，イオンビームまたはX線を照射して，表面から放出するオージェ電子と呼ばれる電子のエネルギースペクトルを分析することで，表面の元素組成や化学状態を調べる方法．オージェ電子がおのおのの元素に固有のエネルギーを持っていることを利用．
