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リソグラフィー

lithography

 litho-は石を表す語で,lithographyは,石版印刷を意味する.半導体生産においては,半導体基板上にパターンを描画する技術を意味し,電子ビーム,イオンビーム,X線,エキシマレーザなどを露光源として用いる.最近は,この技術は,半導体製造ばかりでなく,微小機構の製作など機械工学分野へも応用されている.