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litho-は石を表す語で，lithographyは，石版印刷を意味する．半導体生産においては，半導体基板上にパターンを描画する技術を意味し，電子ビーム，イオンビーム，X線，エキシマレーザなどを露光源として用いる．最近は，この技術は，半導体製造ばかりでなく，微小機構の製作など機械工学分野へも応用されている．
