微小電気機械システム

micro electro mechanical systems

 英語では,Micro Electro Mechanical Systems であり,MEMSと略される.微細加工技術で製作され,電気的な回路要素と,機械的な構造(可動構造や3次元構造)を有するシステムである.製作に用いられる微細加工技術としては,成膜,リソグラフィーエッチングなどを主とする加工精度が数十µm以下の加工法が代表的である.電気的な回路要素と機械的な構造を有するため,さまざまな物理量・化学量を入出力とするセンサやアクチュエータに用いられる.例えば,加速度を静電容量変化として測定するMEMS加速度センサや,光を入出力とし光の方向を変えるMEMSミラーなどがある.近年では,バイオ・医療応用も盛んに行われており,細胞やたんぱく質,DNAを対象としたセンサやマイクロ流体チップなどもある.