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フォトリソグラフィーで利用されるフォトレジストのうち，露光部の溶解性が向上し，現像液に対して可溶化するもの．よって，現像後には露光部が除去され，非露光部は残存する．一般にネガ型フォトレジストに比べて解像度が高いという利点がある．
