目次
計算力学 バイオエンジニアリング 環境工学 産業・化学機械と安全 宇宙工学 技術と社会 材料力学 機械材料・材料加工 流体工学・流体機械 熱工学 エンジンシステム 動力エネルギーシステム 機械力学・計測制御 ロボティクス・メカトロニクス 情報・知能・精密機械 機素潤滑設計 設計工学・システム 生産加工・工作機械 FA（ファクトリーオートメーション） 交通・物流 マイクロ・ナノ 編集委員・執筆者 ~~DISCUSSION:off~~
フォトマスクを使用しない露光方法。フォトマスクを使用せずCAD等で作成したパターン情報を基板へ直接露光する方法。設計変更に応じて柔軟に対応できる。
