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水中の微粒子，生菌，有機物，電気伝導度を低く抑えた水で，半導体製造工程のシリコンウェハー洗浄，原子力発電所の循環流動水などに用いられる．製造方法はイオン交換法，逆浸透膜法などを組合せて行う．
