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大気圧以下の真空を作りだす装置であり，機械式と蒸気噴射式に大別される．機械式は容積形（往復式および回転式）とターボ形（遠心式および軸流式）に分けられる．蒸気噴射式は気体の噴流によって低圧気体を誘引するもので可動部分がない．噴流気体として空気，水蒸気，油，水銀蒸気が用いられ，エゼクタ，拡散ポンプなどがある．機械式や蒸気噴射式以外にもクライオポンプやスパッタイオンポンプのように気体分子の吸着現象を利用する方式もある．
