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スケールの目盛線や品物の境界線の位置を光電的に検出する顕微鏡で，測定者の読取り誤差が入込まない特長がある．普通の顕微鏡のレチクル線の代わりに振動スリットを電磁駆動で正弦波状に振動させ，光電変化の中立位置を検出する．
