目次
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高周波発振機,および超音波振動発振用振動子と振幅増幅用ホーン(超音波振動ホーン),砥粒循環用ポンプ,加工タンクなどから構成される.ホーン先端の工具部はウエイトによってワーク加工部に加圧され,研磨材を介して振動が衝突エネルギーとして加工部に繰返し加えられ,材料を脆性破壊させる.工具の振幅は通常,10~80μm程度である.この超音波加工機は,単に工具部の超音波振動のみを利用する超音波振動切削・研削・研磨,超音波溶接,超音波打抜きなど,遊離砥粒を用いない加工方式でも活用されている.