高周波発振機，および超音波振動発振用振動子と振幅増幅用ホーン（超音波振動ホーン），砥粒循環用ポンプ，加工タンクなどから構成される．ホーン先端の工具部はウエイトによってワーク加工部に加圧され，研磨材を介して振動が衝突エネルギーとして加工部に繰返し加えられ，材料を脆性破壊させる．工具の振幅は通常，10～80μm程度である．この超音波加工機は，単に工具部の超音波振動のみを利用する超音波振動切削・研削・研磨，超音波溶接，超音波打抜きなど，遊離砥粒を用いない加工方式でも活用されている．