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反応性イオンビーム加工

reactive ion beam processing

 イオン種として反応性ガス(Cl2,CF4など)を用いたイオンビーム加工.スパッタリングによる除去に加えて,イオンとの化学反応が加わり,除去作用が促進される.

18/1010481.txt · 最終更新: 2023/02/17 11:34 by 127.0.0.1