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物質がレーザ光を吸収し,そのエネルギーによって起される化学反応.電子状態の励起に起因する化学反応,赤外多光子吸収に起因する化学反応,レーザ光の熱作用に起因する化学反応などがあり,レーザエッチング時の反応速度を大きくできる.