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社団法人日本機械学会 JSME

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第1回
 電気等価回路から考えるMEMS設計手法研究会

研究会予定等: http://www.nms.me.kyoto-u.ac.jp/memsec/

趣旨:
 MEMS技術は、高付加価値・研究開発型産業へと転換が迫られているわが国の製造業において、製品機能の技術的な差別化を図るキーデバイスを創出するものとして今後の更なる高度化、拡大が期待されています。
 MEMSは文字どおり微小な機械素子と電気素子,さらには電気機械結合素子が一体で作製されたシステムであり,これらを一体として連成解析する設計ツールが求められています.これに対して,欧米主体で開発されたいくつかのツールや昨年度リリースされたわが国発のMEMS設計ツールMemsONEが提供されています。しかし,これらは,主として単機能の機械構造からなるデバイスの解析に特化し,有限要素解析などの機械設計ツールの延長的な発想で開発されております.すなわち,機械要素を全体として数値動作モデルとして表現,解析するため,電気回路設計者にとって見やすいとはいえないツールでした.
 一方、多数の機能,あるいは多数の構造を持つ複雑な集積化MEMSに関する研究開発が活発化し、そのような製品に関する成功事例も出現してきています.これらの解析では,これまで以上に電気回路を含めたMEMS全体の連成解析とこれに基づく各素子の最適設計が必要とされています.このためには機械構造設計,電気回路設計の両面から理解しやすい一体解析モデルの実現が必要であります.このような中で、個々の機械要素,電気機械要素をそれぞれ電子部品として置き換えることで,電気回路として見通しのよい電気等価回路としてシステム解析を行うアプローチによる新しい設計手法が、一部の研究者で研究されてきています.これは電気回路としても,そしてここから機械構造の設計にフィードバックする上でも見通しのよい設計手法となると考えられ,高機能なMEMSの実現に寄与すると期待されています。本研究会はこのような状況を踏まえ、特に電気回路からみたシステムとしての設計手法について関心を持つ研究者・技術者の方々が一堂に会し議論する場として開催するものです。

発起人:
静岡大学電子工学研究所教授 橋口原
京都大学大学院工学研究科准教授 土屋 智由

事務局:
(財)マイクロマシンセンター
MEMSシステム開発センター
センター長 小池智之
03-5835-1870
mail: koike[at]mmc.or.jp
マイクロマシンセンターホームページ: http://www.mmc.or.jp/