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μTAS
アライメントマーク
シリコンウエハ
スパッタリングターゲット
スピンコーティング
ピラニア洗浄
フォトマスク
ボッシュプロセス
マイクロマニピュレーション
マイクロローディング効果
リフトオフ
光ピンセット
剥離液
液体金属
液浸密着露光
犠牲層エッチング
現像液
現像
超臨界CO2乾燥
陽極接合
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PDMS
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Shared Control
SHL
目次
SLM
smr
SOI（エスオーアイ）
機械工学事典
STL(Stereolithography)
窒化チタンアルミコーティング（TiAlN）
炭窒化チタンコーティング（TiCN）
窒化チタンコーティング（TiN）
TRL
V2X
VPP
Well-to-Wheel
XeF$_2$ドライエッチング
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くさび回位
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りん光
アライメントマーク
アンサンブル学習
イオンミリング法
インサート
インストルメントパネル
インダストリアルインターネット
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インホイルモーター
ウォータージェット加工
ウルトラファインバブル
エキシマ接合
エッチング
エレクトロスピニング
エンクロージャ
エンジン制御
オイルダイリューション
オンデマンドモビリティサービス
オートライト
オーネゾルゲ数
カップリング効果
カプス
カーシェアリング
ガントリーローダー
ギヤスカイビング
クイックシフター
クロスエラスティシティ効果
グリーンスローモビリティ
コシミュレーション
コンセッション
サイ-ウ則
サイクル変動
サスペンション機構
サテライト液滴
サブグリッドスケールモデル
サーボプレス
システマティック故障
シュミット因子
シリコンウエハ
シングルラップせん断（SLS）試験
シート積層
ジェットエンジン低nox燃焼器
スイング遮熱
スカイフック制御
スキャッタバンド
スキャロップ
ステアリング機構
ステルスダイシング
ステンシルマスク
ストロークボア比
スパッタリングターゲット
スパースモデリング
スピンコーティング
スプレーコーティング
スマートマニュファクチャリング
スマート構造
セタン指数
セルフセンシング
ゼロパワー制御
ソフトマテリアル/ソフトマター
ソフトリソグラフィー
ターンミル加工
ダイシング
ダイナミックマップ
ダミーウェハ
ダルシー則
ツイストねじれ回位
ディープラーニング (深層学習)
デジタルツイン（digital twin）
デジタルマイクロフルイディクス
ドライビングシミュレーター
ドライフィルムレジスト
ナノインプリント
ナノ・マイクロフルイディクス
ナノ周期構造
ハザード（危険源）
ハシン則
バイオMEMS
バイオディーゼル
バウンス
ばね下質量
バレル工具（バレルエンドミル）
パイエルス応力
パフォーマンスレベル
パワーMEMS
パーソナルモビリティー
ヒルの直交異方性降伏条件
ビルディング・ブロック・アプローチ
ピラニア洗浄
ファイバレーザ
ファブラボ
フェムト秒レーザ
フェーズフィールド法
フォトニック結晶
フォトマスク
フォトリソグラフィー
フルイダイン
フルードインフォマティクス
フレネルレンズ
プラズマ接合
プリベーク
プレビューサスペンション制御
プール燃焼
セルフベアリングモータ（ベアリングレスモータ）
ベイズ推定
ベイリー・ハーシュの式
NO$_x$
ボッシュプロセス
ポストエクスポージャーベーク
マイクロマニピュレーション
マイクロローディング効果
マイクロ波プラズマアシスト点火
マグネトロンスパッタリング
（音の）マスキング
マスクレス露光
マテリアルズインフォマティクス
マルチスケール法
マルチフィジックス問題
ミューティング
ミラー・ブラベ指数
ミラー指数
メガソニッククーラント
メタルアシスト化学エッチング
メタン価
モデルベースデザイン
モードベクトル
モード質量
ヤヌス粒子
ヨー共振周波数
ヨー減衰比
ライトカーテン
ラジアスエンドミル
ラストワンマイル
ラボオンチップ
ランダムフォレスト
リキッドマーブル
機械類，機械
リバースエンジニアリング（reverse engineering）
リフトオフ
リフトオフレジスト
ループコンプライアンス
ループ剛性
レイヤハイト
レイリーの光学解像度
レンチねじれ回位
レーザピーニング
レーザー点火
レーザ変位計
レーザ光造形
ロウ付け
ロッキング振動
ローダーロボット
ワイヤソー切断
ヴィルミエ機関
不減衰固有振動数
乱流強度
予知保全
二重層レジスト
交互積層法
付加保護方策
付加製造法
仮想き裂閉口法（VCCT）
低剛性工作物
使用上の情報
保護方策, リスク低減方策
修正コレスキー法
修正加工
側方衝突警報装置
光MEMS
再生器
切削比
刺激係数
刺激関数
剥離液
副室燃焼乱流ジェット点火
加工速度
勾配法
化学増幅型フォトレジスト
危険事象
危険側故障
危険状態
原子間力顕微鏡
双晶変形
受動安定
可視化エンジン
合理的に予見可能な誤使用
同調スイッチ
吸引型磁気浮上
回位
回帰
回帰型ニューラルネットワーク
回転駆動静電アクチュエーター
固有角振動数
圧電アクチュエータ
地震
編集委員・執筆者
安全性
安全側故障
安全機能
安全確認型システム
安全防護
尿素scr
床応答スペクトル
形状最適化問題
後輪操舵システム
後退時車両直後確認装置
微細切削
意図する使用
感電
成層egr
指向性エネルギー堆積
振動発電
接着継手の破壊モード
接触剛性
摩擦撹拌接合
摩擦攪拌接合
疑似ひずみエネルギー関数
最大ひずみ則
最大応力則
有効質量
本質的安全設計方策
材料吐出堆積
材料噴射堆積
楕円振動切削
横加速度位相遅れ
機上計測
機械の安全化を行うための前提として考慮する３原則
機能安全
死角検知機能
毛管凝縮
毛管数
毛管長
水スターリングエンジン
水噴射エンジン
水平対向ピストンエンジン
決定木
浮動式ハンドル機構
液槽光重合
液浸密着露光
混合モード曲げ（MMB）試験
混流生産
熱音響エンジン
燐光
犠牲層エッチング
現像
現像液
用語の新規追加
直動転がり案内
磁気混合流体
磁気研磨
神経振動子
積層板理論
積層造形法
空間精度
端面切欠き曲げ（ENF）試験
等価質量
等電位ボンディング
筒内流動
粉末床溶融結合
粗視化モデル
結合剤噴射
結合力要素
給気マニホールド
繊維うねり（蛇行）
織物複合材料
耐震設計用減衰定数
能動的光電保護装置
自励振動子
自動バレーパーキング
自動運転レベル
自己組織化単分子膜
自然周波数
自立アシスト機能
薄肉工作物
衝撃応答
衝突被害軽減ブレーキ
表面プラズモン共鳴
表面張力振動
裏面アライメント
複合則
触針式段差計
負ばね
超短パルスレーザ
超臨界CO$_2$乾燥
超臨界成膜
超電導磁気軸受
超音波振動切削
超音波探傷器
超音波浮揚
超高バイパス比エンジン
車車間通信
転がり抵抗
軸心冷却
近接場光
連成問題
遊星ローラねじ
遠隔型自動運転システム
重要危険源
量子ドット
金属積層造形法
陽極接合
隊列走行
集束イオンビーム
電子ビーム積層造形
電解砥粒研磨
静電アクチュエータ
静電吸着
静電容量型変位センサー
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